Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Расчет функции поправок при измерении удельного сопротивления четырехзондовым методом АРЕШКИН А.А Определены функции поправок для четырехзондового метода контроля удельного сопротивления тонких проводящих пленок ограниченных размеров при изготовлении элементов интегральных микросхем. Показано влияние на точность измерения удельного сопротивления тонких пленок расстояния удаления токовых зондов от непроводящей границы контролируемого образца. Ключевые слова: интегральные микросхемы, контроль, удельное сопротивление, удельное поверхностное сопротивление, тонкие пленки, четырехзондовый метод контроля. Контактная информация: E-mail: ikd2004@mail.ru Стр. 41-45.