Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Контроль удельного сопротивления тонкопленочных элементов микроволновых СВЧ устройств А.А. АРЕШКИН Рассмотрен четырехзондовый метод контроля удельного сопротивления тонких пленок микрополосковых СВЧ устройств с линейным расположением зондов в датчиках. Установлены аналитические зависимости измерения удельного сопротивления тонких пленок при различном расположении зондов в датчиках. Дана оценка чувствительности и точности датчиков с раз личным расположением зондов. Ключевые слова: интегральные микросхемы СВЧ, технология изготовления интегральных схем, контроль, удельное сопротивление, удельное поверхностное сопротивление, СВЧ потери, микрополосковые СВЧ устройства, четырехзондовый метод контроля. Контактная информация: E-mail: ikd2004@mail.ru Стр. 24-28.