|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
Временная стабильность тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе |
Е.М. БЕЛОЗУБОВ, Н.Е. БЕЛОЗУБОВА, В.А. ВАСИЛЬЕВ
Рассмотрена временная стабильность тонкопленочных
нано- и микросистем (НиМЭМС) с идентичными тензоэле-
ментами и датчиков давления на их основе, выработаны усло-
вия и критерии временной стабильности.
Ключевые слова: тонкопленочные нано- и микроэлектроме-
ханические системы (НиМЭМС), временная стабильность,
температура, деформация, критерий, датчик давления, иден-
тичный тензоэлемент. E-mail: opto@bk.ru. Стр. 45-50 |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |