|
advertisement |
|
|
|
|
|
|
Instruments and Systems: Monitoring, Control, and Diagnostics Annotation << Back
The time stability of thin-film nano- and microelectromechanical systems with identical tensometric elements and pressure sensors on their base |
E.M. BELOZUBOV, N.E. BELOZUBOVA, V.A.VASIL’EV
The time stability of thin-film nano- and microelectromechanical
systems (N&MEMS) with identical tensometric elements
and pressure sensors on the base is considered, conditions and
criterions of the time stability are worked out.
Key words: thin-film nano-and microelectromechanical
systems (N&MEMS), time stability, temperature, deformation,
criterion, pressure sensor, identical tensometric element. E-mail: opto@bk.ru. Pp. 45-50 |
|
|
|
Last news:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |