Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Влияние технологических процессов на геометрические параметры изготавливаемых элементов МЭМС Тимошенков С.П., Рубчиц В.Г., Зотов С.А., Калугин В.В., Прокопьев Е.П. Рассмотрен способ изготовления трехмерных структур микроэлектромеханических систем (МЭМС) в объеме крем-ниевой подложки с использованием жидкостного анизотропного травления кремния. Дана оценка критериев допусти-мых технологических погрешностей изготовления трехмерных структур для соответствующей модернизации сущест-вующих типовых ТП. Контактный телефон (495) 532-99-62. E-mail: viktor118@mail.ru