|
advertisement |
|
|
|
|
|
|
Instruments and Systems: Monitoring, Control, and Diagnostics Annotation << Back
The technology development influence on geometry of microcircuits elements |
Timoshenkov S.P., Rubchits V.G., Zotov S.A. et al.
The article deals with the technology of microcircuits production. It provides an anisotropic etch of silicon substrate three-dimensional structure. The allowable error criteria under improvement of standard technology are estimated.
Контактный телефон (495) 532-99-62.
E-mail: viktor118@mail.ru |
|
|
|
Last news:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |