Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Моделирование термоударных характеристик тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления Белозубов Е.М., Васильев В.А., Измайлов Д.А. В статье предложена модель тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления (ТТДД), позволяющая осущест-вить расчет температурных полей на мембране и оценить выходной сигнал датчиков при воздействии термоудара. Разработаны алгоритм и программа, позволяющие моделировать термоударные характеристики датчиков. Представ-лены результаты исследований влияния кольцевой проточки в упругом элементе датчика на распределение температур по поверхности мембраны и на выходной сигнал его мостовой измерительной цепи.