|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
Минимизация влияния нестационарных температур в микроэлектромеханических системах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления |
Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Васильев В.А.
Рассмотрены пассивные методы защиты от воздействия температуры, реализуемые в микроэлектромеханических системах (МЭМС) тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давления (ТТДД). Предложены эффективные методы и средства компенсации нестационарных температур в МЭМС ТТДД. Дано описание конструктивно-технологических решений МЭМС, устойчивых к воздействию температуры. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |