Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Уменьшение влияния термоэлектрических явлений в МЭМС-структурах на выходной сигнал тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления Белозубов Е.М., Белозубова Н.Е., Васильев В.А. Рассмотрены термоэлектрические явления, возникающие в МЭМС-структурах тонкоплёночных тензорезисторных датчиков давле-ния (ТТДД). Построена модель неинформативного преобразования термо-ЭДС в выходной сигнал МЭМС-структур ТТДД с иден-тичными тензоэлементами. Описаны методы уменьшения влияния термоэлектрических явлений на выходной сигнал ТТДД. Разра-ботаны рекомендации по совершенствованию МЭМС-структур ТТДД, работающих в условиях воздействия нестационарных темпе-ратур (термоудара).