 |
advertisement |
|
|
|
|
|
|
Instruments and Systems: Monitoring, Control, and Diagnostics Annotation << Back
Minimizing the thermoelectric phenomena influence in MEMS-structures on thin-film tensoresistor pressure sensors’ output signal |
Belozubov E.M., Belozubova N.E., Vasiliev V.А.
The article contemplates the thermoelectric phenomena arising in the MEMS-structures of thin-film tensoresistor pressure sensors (ТТPS). It also shows the results of model development to carry out inconclusive thermo-EMF transformation to output signal of TTPS with identical tensoelements (strain gauges). The methods minimizing the thermoelectric phenomena influence on ТТPS output signal are described. Recommendations on improvement ТТPS MEMS-structures operating in conditions of non-stationary temperatures (thermal-shock) are developed. |
|
|
|
Last news:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |