Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Нано- и микроэлектромеханические системы тонкопленочных датчиков давления. Принципы построения и перспективы исследований Белозубов Е.М., Васильев В.А. Рассмотрены принципы построения тонкоплёночных тензорезисторных и емкостные нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) датчиков давления, приведены основные типы конструкций НиМЭМС, показаны их преимущества. Поставлены задачи перспективных исследований НиМЭМС и датчиков давления на их основе, направленные на решение проблем повышения устойчивости к воздействию нестационарных температур и повышенных виброускорений. Ключевые слова: тонкопленочные тензорезисторные нано- и микроэлектромеханические системы, датчики давления, нестационарная температура, повышенное виброускорение. Контактный телефон: (8412) 36-82-61. E-mail: opto@bk.ru