Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Аддитивная математическая модель шумовых характеристик полупроводниковых тензорезистивных сенсоров А.И. СУРАЙКИН, Н.Н. БЕСПАЛОВ, М.С. ЛАБУТИН В статье приведены результаты исследования шумовых характеристик полупроводниковых тензорезистивных сенсоров. Разработана аддитивная математическая модель, учитывающая тепловой, дробовой, фликкер- и технологический шумы, формирующие суммарный выходной сигнал сенсора. На основе численного эксперимента проведён спектральный анализ методом Уэлча и рассчитаны интегральные мощности шумов в различных частотных диапазонах. Показано, что в низкочастотной области доминирует фликкер-шум, в средне- и высокочастотных диапазонах – тепловой шум, а дрейфовые шумовые компоненты проявляются вблизи нулевой частоты. Анализ отношения «сигнал/шум» выявил его снижение на низких частотах и стабилизацию при частотах выше 1 кГц. Полученные результаты подтвердили адекватность модели и её применимость для прогнозирования шумовых характеристик полупроводниковых тензорезистивных сенсоров. Ключевые слова: тензорезистивные сенсоры, шумовые характеристики, тепловой шум, фликкер-шум, дробовой шум, математическая модель, спектральная плотность мощности, отношение «сигнал/шум». DOI: 10.25791/pribor.3.2026.1659 Стр. 45-49.