Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Исследование компенсационного преобразователя ускорения с дифференциальным оптическим считыванием В.И. БУСУРИН, С.Г. ШТЕК, В.В. КОРОБКОВ, М.А. ЖЕГЛОВ, К.А. КОРОБКОВ В работе рассмотрен компенсационный преобразователь ускорения с дифференциальным оптическим считыванием. Разработана функциональная схема и предложен алгоритм функционирования компенсационного микро-опто-электромеханического преобразователя ускорения. Контур электромагнитной обратной связи позволяет предотвратить механический контакт между оптическими деталями и может быть использован для калибровки преобразователя. Разработаны математические модели, позволяющие исследовать статические и динамические характеристики преобразователя ускорения. Использовано дифференциальное включение двух оптических модуляторов и показана погрешность нелинейности узла считывания. Исследованы зависимости отражательной способности и чувствительности модулятора на основе эффекта оптического туннелирования от зазора при изменении показателей преломления сред. Исследовано влияние зазора между чувствительным элементом и корпусом преобразователя на динамику системы без обратной связи. Исследовано поведение замкнутой системы при варьировании значения коэффициента обратной связи. Ключевые слова: компенсационный преобразователь ускорения, микроэлектромеханические системы, оптический съём, оптический туннельный эффект, погрешность, стабилизация чувствительного элемента. DOI: 10.25791/pribor.3.2021.1247 Стр. 29-38.