Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Метод комбинированной стабилизации чувствительного элемента компенсационного преобразователя ускорения с оптическим считыванием В.И. БУСУРИН, В.В. КОРОБКОВ, К.А. КОРОБКОВ, Л.А. ШЛЕЕНКИН В работе предложен метод комбинированной стабилизации чувствительного элемента микроэлектромеханического компенсационного преобразователя ускорения с оптическим считыванием. Разработана структурная схема компенсационного микро-опто-электромеханического преобразователя линейных ускорений с методом комбинированной стабилизации чувствительного элемента. Предложены общий вид и алгоритм, позволяющий эффективно использовать совокупность двух разнотипных компенсационных обратных связей: электромагнитной и электростатической. Метод комбинированной стабилизации чувствительного элемента одновременно возвращает его к положению покоя и демпфирует колебания. Предложенный метод комбинированной стабилизации положения чувствительного элемента совместно с алгоритмом функционирования и многорежимным управлением позволяют: обеспечить работу преобразователя при различных видах входных ускорений, расширить диапазон измеряемых ускорений без ухудшения точностных показателей и исключить механический контакт между элементами преобразователя. Проведено моделирование, показавшее эффективность использования предложенного метода. Ключевые слова: компенсационный преобразователь ускорения, микроэлектромеханические системы, оптический съём, оптический туннельный эффект, метод стабилизации, стабилизация чувствительного элемента. DOI: 10.25791/pribor.10.2020.1211 Стр. 05-13.