Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
3-D координатно-наноизмерительная машина “3D НАНО КИМ” |
Б.Г. ТУРУХАНО, Е.А. ВИЛКОВ, В.В. ДОБЫРН, О.Г. ЕРМОЛЕНКО, Л.А. КОНСТАНТИНОВ, В.Е. КОРМИН, Ю.М. ЛАВРОВ, Р.П. СИНЕЛЬЩИКОВА, В.Г. ТОЛЧИН, Н. ТУРУХАНО, С.Н. ХАНОВ, Н.А. ЩИПУНОВА
Предлагается новая концепция координатно-измерительной машины 3D НАНО КИМ, в которой используются 4 измерительных системы (ИС), имеющих свои оригинальные, прецизионные, автономные направляющие на двух склеенных стеклянных подложках. Основой ИС служат ультрапрецизионные метрологические голографические дифракционные решетки и линейные датчики на их основе. Для исключения деформаций при перемещении тяжелого диабазового моста, последний выполнен в виде легкой, ажурной стеклянной конструкции. Проведенные испытания подтвердили оптимальность конструктивных и программных решений.
Ключевые слова: линейная ультрапрецизионная голографическая дифракционная решетка (ГДР), ультрапрецизионный голографический датчик линейных перемещений (ЛДГ), 3-D координатно-измерительная машина “3D НАНО КИМ”.
Контактная информация: E-mail: dir@pnpi.spb.ru
Стр. 44-52. |
|
|