Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Автоматизированный ультрапрецизионный длиномер голографический с голографическим датчиком касания ДГ-ДК-200 Б.Г. ТУРУХАНО, Е.А. ВИЛКОВ, В.В. ДОБЫРН, О.Г. ЕРМОЛЕНКО, Л.А. КОНСТАНТИНОВ, И.В. ЛАДАТКО, В.Г. ТОЛЧИН, Н. ТУРУХАНО, С.Н. ХАНОВ, Н.А. ЩИПУНОВА В век нанотехнологий идея быстрого и точного измерения изделий с минимальными внешними воздействиями на измеряемый объект приобретает все более актуальное значение, что в конечном счете приводит к увеличению точности определения координат изделия. В данной работе описывается принцип действия и устройство автоматизированного ультрапрецизионного длиномера голографического (ДГ) с мягким (“soft”) датчиком касания (ДК) в пределах измерений 0÷200 мм, с точностью измерения ±0,3 мкм на всей длине и скоростью измерений и обработки информации до 500 мм/с. Ключевые слова: голографическая дифракционная решетка (МГДР), ультрапрецизионный длиномер голографический (ДГ), датчик касания (ДК). Контактная информация: E-mail: dir@pnpi.spb.ru Стр. 35-43.