Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
Модернизация трехкоординатного универсального измерительного микроскопа (3D НАНО УИМ) |
Б.Г. ТУРУХАНО, Е.А. ВИЛКОВ, В.В. ДОБЫРН, О.Г. ЕРМОЛЕНКО, М.О. ИВАНОВ, Ю.М. ЛАВРОВ, И.В. ЛАДАТКО, В.Г. ТОЛЧИН, Н. ТУРУХАНО, С.Н. ХАНОВ, Н.А. ЩИПУНОВА
В статье рассматриваются вопросы повышения метрологической точности универсальных измерительных микроскопов (УИМ) за счет оснащения приборов ультрапрецизионными голографическими датчиками линейных перемещений, увеличения числа измеряемых координат, применения персонального компьютера, специальных программ и новых электронных и механических узлов.
Ключевые слова: голографическая дифракционная решетка (ГДР), голографический датчик линейных перемещений (ЛДГ), длиномер голографический (ДГ), универсальный измерительный микроскоп (УИМ), двухкоординатный наноизмерительный микроскоп для заряженных частиц (2D НАНО УИМ ЗЧ), трехкоординатный наноизмерительный микроскоп (3D НАНО УИМ), двухкоординатный измерительный прибор (ДИП), наноизмерительные системы (НИС), наноизмерения.
Контактная информация: E-mail: dir@pnpi.spb.ru
Стр. 21-27. |
|
|