|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
Зондовый метод контроля удельного сопротивления тонких пленок интегральных микросхем при расположении зондов в датчиках в виде прямоугольника |
А.А. АРЕШКИН
Разработан и осуществлен зондовый метод контроля удельного сопротивления проводящих пленок (резистивных, проводниковых, полупроводниковых) при расположен зондов в датчиках в виде прямоугольника. Получены общие и частные формулы расчета удельного сопротивления с расположением зондов в датчиках в виде прямоугольника, оценены чувствительность и погрешность.
Ключевые слова: зондовые методы контроля, четырехзондовый метод, интегральные микросхемы, удельное сопротивление,
удельное поверхностное сопротивление, датчики контроля.
Контактная информация: -
Стр. 69-73. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |