|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
Чувствительные элементы на основе поликристаллического кремния для высокотемпературных датчиков абсолютного давления
|
БАРИНОВ И.Н.,
ВОЛКОВ В.С.
Описано применение поликристаллического кремния для создания высокотемпературных датчиков абсолютного давления. Предложены конструктивно – технологические решения для снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала за счет использования многоэлементной мостовой схемы и совершенствования технологии диффузионной сварки.
Ключевые слова: поликристаллический кремний, высокотемпературный полупроводниковый датчик абсолютного давления, многоэлементная мостовая схема, полость опорного давления, диффузионная сварка.
Контактная информация: mzungu@inbox.ru
Стр. 36-42. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |