 |
advertisement |
|
|
|
|
|
|
|
Instruments and Systems: Monitoring, Control, and Diagnostics
Annotation << Back
|
Sensor elements with polysilicon for high-temperature absolute pressure sensors |
I.N. BARINOV,
V.S.VOLKOV
The applications polysilicon for high-temperature absolute pressure sensors are described. The methods to decrease the temperature dependence and output signal drift by using the multiunit bridge circuit and anodic bonding upgrading are suggested.
Keywords: polysilicon, high-temperature absolute pressure sensor, multiunit bridge circuit, reference cavity, anodic bonding.
Contacts: mzungu@inbox.ru
Pp. 36-42. |
|
|
|
Last news:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |
