|
advertisement |
|
|
|
|
|
|
Instruments and Systems: Monitoring, Control, and Diagnostics Annotation << Back
Development of the testing method for the rated capacity sensing elements in microelectronic systems |
Timoshenkov S.P., Zotov S.А, Kalugin V.V., Lapenko V.N., Shilov V.F.
This article gives a description of design features for the elecromechanical systems in microelectronic. The problem of microrelief formation on manufacturing of silicon sensing elements is contemplated. The indirect method of capacitance testing for the motion and force transducers in microdrive is suggested and substantiated. |
|
|
|
Last news:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |