|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
Разработка методики контроля номинальных емкостей чувствительных элементов в микроэлектромеханиче-ских системах |
Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Лапенко В.Н., Шилов В.Ф.
В статье дано описание особенностей конструкции микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрен вопрос формирования микрорельефа при производстве кремниевых ЧЭ. Предлагается и обосновывается косвенный метод измерения собственных емко-стей датчиков перемещения и силы микропривода. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |