Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Резонансный метод контроля технологических параметров при изготовлении микрополосковых СВЧ устройств радиолокационного приемника А.А. АРЕШКИН Предложен резонансный метод контроля оценки каче- ства материалов и технологических параметров, использу- емых при изготовлении элементов микрополосковых СВЧ устройств радиолокационного приемника. Метод позволяет объективно выбирать оптимальные технологические пара- метры и материалы, влияющие на качество изготовления микрополосковых СВЧ устройств, путем контроля добротно- сти и СВЧ потерь микрополосковых резонаторов на разных частотах. Дана оценка влияния используемых материалов и технологических факторов на электрофизические параметры микрополосковых линий. Ключевые слова: микрополосковая линия, СВЧ потери, интегральные микросхемы, технология изготовления инте- гральных микросхем, резонансный метод, технология нане- сения тонких пленок, контроль. Контактная информация: E-mail: ikd2004@mail.ru Стр. 51-54.