|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад
Задание температуры при выращивании монокристаллов кремния |
С. П. САХАНСКИЙ
Предложена математическая модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов кремния, по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс его ввода в микропроцессорную систему управления установкой.
Ключевые слова: задание, температура, выращивание, монокристалл, кремний.
E-mail: Sahanskiy@yandex.ru
Стр. 8-10 |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |