Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Анализ конструктивных особенностей преобразователей датчиков давления мембранного типа Н.М. ПАРФЁНОВ, В.Б. ЧЕМОДАНОВ Рассмотрены конструкции преобразователей датчиков давления мембранного типа. Показано, что форма мембраны оказывает существенное влияние на параметры датчиков. Экспериментально определены дефекты на кремниевой поверхности квадратной мембраны и на границе раздела между мембраной и тензорамкой. Ключевые слова: тензопреобразователь датчика, форма и конструкция мембраны, способы обнаружения дефектов. Контактная информация: E-mail: sedennik@mail.ru Стр. 50-54.