Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Оценка устойчивости информационно-управляющей системы на основе параметров предиктивной модели переходного процесса Ю.С. ШЕВНИНА, Л.Г. ГАГАРИНА, А.А. ВИНОКУРОВ, П.М. ХВОСТИК В статье представлен подход к оценке устойчивости информационно-управляющей системы на основе параметров предиктивной модели переходного процесса. В качестве примера рассмотрена система управления температурным режимом в процессе химического осаждения из газовой фазы при производстве полупроводниковых пластин. Предложена предиктивная модель переходного процесса. Определены основные параметры предиктивной модели и особенности информационно-управляющей системы температурным режимом в микроэлектронном производстве. Оценка устойчивости информационно-управляющей системы производится на основе функционала интегральной оценки непрерывной системы управления с переходным процессом. Приводятся примеры для различных типов предиктивных моделей переходных процессов. Ключевые слова: устойчивость информационно-управляющей системы, переходной процесс, управление температурным режимом, предиктивная модель, интегральная оценка, передаточная функция. DOI: 10.25791/pribor.7.2025.1599 Стр. 32-39.