Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Моделирование состояния технологического оборудования в составе информационно-управляющей системы Ю.С. ШЕВНИНА В статье представлен подход к моделированию состояния технологического оборудования, входящего в состав информационноуправляющей системы производственного предприятия. Разработанная модель состояния технологического оборудования позволяет учитывать множество взаимосвязанных внешних и внутренних параметров: техническое состояние оборудования, состояние внешней окружающей среды, человеческий фактор. Для исследования взаимосвязи и нелинейности параметров, влияющих на состояние и поведение технологического оборудования, использована модель нейронной сети с обратным распространением ошибки. Верификация разработанной модели состояния технологического оборудования проведена для вакуумной установки, входящей в состав литографа для микроэлектроники. В качестве входных параметров определены четыре основных фактора, влияющих на эффективность управления вакуумной установкой: приток воздуха в камеру вакуумной установки, степень вакуума, давление в камере установки и мощность откачного насоса. Результаты исследования показывают, что разработанная авторами модель позволяет отражать основные особенности изменения состояния технологического оборудования с учетом множества параметров. Хотя модель может быть улучшена при использовании большего количества данных, описанный подход к моделированию состояния технологического оборудования в составе информационно-управляющей системы производственного предприятия доказал свою состоятельность и эффективность. Ключевые слова: моделирование состояния, нейронная сеть, управление технологическим оборудованием, информационноуправляющие системы. DOI: 10.25791/pribor.1.2024.1468 Стр. 29-35.