Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Исследование разработанного интерференционного зонда для измерения неровностей реальных поверхностей А.В. АРЕФЬЕВ, В.Б. КОЦКОВИЧ, Е.Е. МАЙОРОВ, В.П. ПУШКИНА, А.А. СОРОКИН, С.В. УДАХИНА Настоящая статья посвящена исследованию разработанного интерференционного зонда для измерения неровностей реальных поверхностей. Повышение функциональных возможностей и информационного содержания измерений для интерференционного зонда является важной задачей для оптического приборостроения, поэтому работа актуальна. В статье приведена схема экспериментальных исследований поверхности объекта и описана её работа. Определены требования к параметрам сканирования и получено, что скорость опорного зеркала 390 мм/с при движении объекта 100 мм/с. Приведены экспериментальные результаты зависимости корреляционной функции от поперечного движения исследуемой поверхности объекта, которые показывают, что измерения можно считать независимыми при перемещении объекта в поперечном направлении с шагом измерений 9 мкм. Ключевые слова: метрология, интерференционный зонд, исследуемая поверхность, плечи интерферометра, корреляционная функция, шаг измерений, угол падения. DOI: 10.25791/pribor.2.2022.1319 Стр. 01-06.