Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Сравнительная оценка способов настройки интерференционных полос в фазоизмерительных системах Е.Е. МАЙОРОВ, А.С. УШАКОВА, А.В. ДАГАЕВ, А.А. КОНСТАНТИНОВА, Е.А. ЯКОВЛЕВА, В.Б. КОЦКОВИЧ, А.А. СОРОКИН, В.П. ПУШКИНА, Р.А. КОВАЛЕНКО В статье проведено сравнение двух способов настройки интерференционных полос. В качестве критерия сравнительной оценки выбрано влияние на точность измерений отклонение опорного пучка от своего исходного направления распространения. В классической голографической интерферометрии при применении двух опорных источников получена количественная оценка ошибки измерения, возникающей при отклонении одного из опорных (восстанавливающих) пучков от своего исходного направления. Определено, что отклонение одного из опорных пучков на угол порядка 10–5 радиан приведет к фазовому набегу объектной волны на величину 0,22 доли интерференционной полосы. Использование интерферометра сдвига для настройки интерференционных полос позволило реализовать принцип гетеродинной интерферометрии, используя лишь один опорный пучок. Дана количественная оценка возникающей при этом погрешности. Выявлено, что фазовый набег необходимо определять на длине вектора смещения идентичных элементов поверхности исследуемого объекта. Показано, что использование интерферометра сдвига для реализации принципа гетеродинной интерферометрии, а также для настройки интерференционных полос, по сравнению с двухопорной голографической интерферометрией позволяет использовать лишь один опорный пучок и при прочих равных условиях на два порядка повышает точность измерений δ φ = 2π ˑ 0,22 ˑ 10–2. Ключевые слова: гетеродинирование, интерферометр, голография, опорный пучок, фазовый набег, апертура. DOI: 10.25791/pribor.02.2020.1153 Стр. 52-57.