Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика Аннотация к статье << Назад Вопросы создания микроэлектронных датчиков давления, эксплуатирующихся в особо жестких условиях И.Н. БАРИНОВ, В.С. ВОЛКОВ, Д.А. КУДРЯВЦЕВА, Б.В. ЦЫПИН Рассмотрены датчики давления на основе структур “кремний-на-диэлектрике”, карбида кремния, поликристаллического алмаза для особо жестких условий эксплуатации. Рассмотрены конструкции датчиков, достоинства и недостатки применяемых материалов и особенности топологий чувствительных элементов. Описана возможность изменения проводимости тензорезисторов из карбида кремния и поликристаллического алмаза путем легирования соответствующими примесями. Предложен способ снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала микроэлектронных датчиков абсолютного давления за счет использования микропленочных геттеров. Предложено конструктивно – технологическое решение для улучшения характеристик микроэлектронных датчиков давления за счет совершенствования технологии диффузионной сварки, позволяющей исключить вакуумплотный барьер при изготовлении полости опорного давления в датчиках абсолютного давления. Рассмотрено применение технологии беспроводной сборки, обеспечивающей создание высокотемпературных контактов к чувствительному элементу датчика. Ключевые слова: особо жесткие условия эксплуатации, структура “кремний-на-диэлектрике”, карбид кремния, поликристаллический алмаз, диффузионная сварка, беспроводная сборка, геттер. Контактная информация: E-mail: mzungu@inbox.ru Стр. 39-50.