EN | RU    
Издательство научно-технической литературы
Поиск по сайту:

На главную»

Контакты»

Журналы»

Новости»

Оформление статей»

Реклама в журналах»

Обратная связь»

Книги»

О фирме»



 реклама



Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика

Аннотация к статье
<< Назад
Вопросы создания микроэлектронных датчиков давления, эксплуатирующихся в особо жестких условиях
И.Н. БАРИНОВ, В.С. ВОЛКОВ, Д.А. КУДРЯВЦЕВА, Б.В. ЦЫПИН

Рассмотрены датчики давления на основе структур “кремний-на-диэлектрике”, карбида кремния, поликристаллического алмаза для особо жестких условий эксплуатации. Рассмотрены конструкции датчиков, достоинства и недостатки применяемых материалов и особенности топологий чувствительных элементов. Описана возможность изменения проводимости тензорезисторов из карбида кремния и поликристаллического алмаза путем легирования соответствующими примесями. Предложен способ снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала микроэлектронных датчиков абсолютного давления за счет использования микропленочных геттеров. Предложено конструктивно – технологическое решение для улучшения характеристик микроэлектронных датчиков давления за счет совершенствования технологии диффузионной сварки, позволяющей исключить вакуумплотный барьер при изготовлении полости опорного давления в датчиках абсолютного давления. Рассмотрено применение технологии беспроводной сборки, обеспечивающей создание высокотемпературных контактов к чувствительному элементу датчика.
Ключевые слова: особо жесткие условия эксплуатации, структура “кремний-на-диэлектрике”, карбид кремния, поликристаллический алмаз, диффузионная сварка, беспроводная сборка, геттер.

Контактная информация: E-mail: mzungu@inbox.ru

Стр. 39-50.

 разделы

«О журнале

«Архив журнала

«Тематическая направленность журнала

«Правила оформления статей

«Этапы рассмотрения и публикации статей

«Правила рецензирования статей

«Редакционная и профессиональная этика

«Обнаружение плагиата

«Редакция и редакционная коллегия

«Новости журнала


 журналы
...................................
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика
...................................
Приборостроение и средства автоматизации. Энциклопедический справочник
...................................
Промышленные АСУ и контроллеры
...................................
Экологические системы и приборы
...................................
Авиакосмическое приборостроение
...................................
Инженерная физика
...................................
История науки и техники
...................................
Музыка и время
...................................
Нотный альбом
...................................
Музыковедение
...................................
Бюллетень Главного ботанического сада
...................................
Всеобщая история
...................................
Справочник инженера
...................................
Прикладная физика и математика
...................................
Известия академии инженерных наук им. А.М. Прохорова
...................................

Последние новости:

Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге

Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg

Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018»

ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы

Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018"

   Rambler's Top100 Rambler's Top100         


    Система управления разработана в: ananskikh.ru
© Издательство "НАУЧТЕХЛИТИЗДАТ", 2005-2021